十万级洁净室--

湿度过高产生的问题更多。相对湿度超过55%时，冷却水管壁上会结露，如果发生在精密装置或电路中，就会引起各种事故。相对湿度在50%时易生锈。此外，湿度太高时将通过空气中的水分子把硅片表面粘着的灰尘化学吸附在表面耐难以清除。相对湿度越高,粘附的难去掉，但当相对湿度低于30%时，又由于静电力的作用使粒子也容易吸附于表面，同时大量半导体器件容易发生击穿。100级洁净间的气流形式是层流方式，空气以均匀的断面速度沿同一水平方向流动，与流体力学的层流概念不太相同，垂直方向层流并且侧回风。对于硅片生产佳温度范围为35—45%。

手术室的装修施工1手术室内墙面、顶棚抹灰 辅助用房和手术室吊顶以上墙面和顶棚抹灰采用高1级抹灰标准控制，并进行充分养护。 踢脚略缩进墙面2～3mm，手术室踢脚与地面水泥活时成一整体，踢脚与地面交界处的阴角做成r***40mm的圆角。 墙体转角和门的竖向侧边的阳角做成圆角。墙面和顶面应平整光滑，无灰尘，并应无灰尘，无腐蚀和撞击，易于清洁。通道两侧及转角处墙上设防撞板。

翻边应是平的，靠近法兰，不应盖上螺丝孔，四个角应平整，不应有开口，如果法兰上有裂缝或孔，应涂上密封胶，以避免漏气。风管与小零件接头、短支管等、三通、四通的接头应严密，间隙应用密封胶密封，防止漏气。当风管的咬合、边缘折叠、铆接损坏时，应进行防腐处理。静压箱的箱体、箱内过滤器的框架及固定件应进行镀锌、镀镍等防腐处理。洁净实验室设计要求做好温湿度控制，因为洁净室实验需要控制温湿度以防止腐蚀、防止工作面冷凝，并减少放电。完成风管检查后，应按照图中主管和支管的顺序写出连接编号和工程，合理堆放，等待运输离开工厂。